特注バッキングプレート設計・製造

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こんなお困りごとはありませんか？

バッキングプレートの加工をお願いしたいという設計者・技術者の方からは、このようなお困りごとをよくお伺いしております。

・φ10インチの大型バッキングプレートを製作できますか？
・バッキングプレート内を流れる冷却水の水圧により蓋が変形し
　てしまった、、
・外形加工から仕上げまで一貫対応してほしい、、
・7インチのバッキングプレートを80枚製作してほしい、、

私たちにお任せください！

・試作開発～量産まで、バッキングプレートの特注製作実績が多数！
・材質や加工に関する豊富なノウハウをもとにした、図面段階からの技術提案！
・材料調達から、設計・製造、高精度検査・測定まで一貫対応いたします！

図面作成前にご連絡ください！無料相談・お問合せはこちら！

当社の「特注バッキングプレート設計・製造」の特徴

試作開発～量産まで、バッキングプレートの特注製作実績が多数！
当社には成膜装置向けのバッキングプレートの製作実績が多数あるため、バッキングプレートの設計・加工に精通しております。バッキングプレートは、その用途から、厳しい形状精度・穴の位置精度が要求されます。しかし、1/1000台の高精度機械加工を安定して行うことができる銅板加工.comでは、複合NC旋盤や5軸マシニングセンタを駆使して、高精度なバッキングプレートを加工しております。また、スパッタリングターゲットを適切に冷却するために、冷却水を流す水路の形状設計は非常に重要です。過去には、大手研究機関との試作開発や中ロットの量産を行った実績もございます。

材質や加工に関する豊富なノウハウをもとにした、図面段階からの技術提案！
銅板加工.comは、C1011、C1020、C1100など純銅部品の加工実績が豊富であるため、純銅の材料特性や加工における注意点を熟知しております。例えば、純銅は柔らかく加工中に反りやすいため、反りを極力低減させるように工夫して加工を行っております。したがって、銅板加工.comでは、お問い合わせを頂いた際に丁寧にヒアリングを行うことで製品の使用用途・使用環境を考慮した最適なご提案を行っております。提示された図面通りに加工を行うと、実現できない形状・寸法であった、あるいは実際に製品を使用する際に上手く嵌まらなかったといったトラブルが発生することがあります。図面段階からご提案を行うことにより、過剰品質（オーバースペック）によるコストアップや手戻りを回避し、その結果コストダウン・品質向上を実現することができます。

材料調達から、設計・製造、表面処理、高精度検査・測定まで一貫対応いたします！
銅板加工.comを運営する株式会社アイジェクトでは、高純度銅・アルミなど独自の材料調達ルートや協力企業ネットワークを構築しているため、材料調達や設計・製造はもちろん、後工程の表面処理や高精度検査・測定までワンストップで請け負うことができます。この一貫製造体制を支えているのが、前述の設計・加工ノウハウと、表面処理や品質管理など後工程に関するノウハウです。例えば表面処理については、バッキングプレートの放熱性を高めるためにブラスト処理で表面に凹凸を付けることがあります。また、純銅の場合が多いバッキングプレートは、腐食防止対策が重要になります。当社では、製造段階では酸化を防ぐために油性切削液を使用して加工を行っており、納品時および工程間の保管時には防錆剤等を用いて管理しております。

当社の「特注バッキングプレート設計・製造」の事例

C1020＆SUS304 異種金属溶接バッキングプレート

材　質：C1020+SUS304
サイズ：φ381☓16
成膜装置向け薄板角形状バッキングプレート

材　質：C1020
サイズ：150×220×10
成膜装置向け小型バッキングプレート

材　質：C1020
サイズ：φ85×10
成膜装置向けバッキングプレート（真空ロウ付け有）

材　質：C1020
サイズ：116☓527☓65
C1020製バッキングプレート

材　質：C1020
サイズ：φ226☓10

私たちにお任せください！

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銅板加工.comが選ばれる理由

創業50年積み重ねてきた、高精度部品の加工実績
アイジェクトでは1968年の創業以来、バッキングプレートや真空フランジなどの高精度部品の加工実績を積み重ねてまいりました。現在では上場メーカーや研究機関とも強いコネクションを築いております。

高純度材料の仕入れから溶接やメッキまで対応する一括請負体制
当社では、国内最先端の研究機関からの依頼にもワンストップで応えるべく、あまり市場には出回らない高純度材料の強いパイプを構築しております。さらに、高精度溶接、板金加工、メッキまで対応する独自ネットワークのハブ的な存在として、銅・アルミ加工の一括請負を行っております。

厳しい環境にも耐えうる製品のための、徹底した品質保証体制
アイジェクトでは、品質管理部ではなく、品質保証部を設けています。これは、極低温環境で使用される銅製品や、真空環境で使用されるアルミ製品という超高精度部品のための、徹底した品質保証が必要であるためです。さらに当社では、失敗が許されない航空宇宙業界にも対応すべく、JISQ9100規格を取得しております。

銅板加工.comの設備紹介

動画で「特注バッキングプレート設計・製造」を見る

お問い合わせからの流れ

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お問い合わせ・図面送付
銅やアルミなどの部品加工でお困りの方は、まずはお問い合わせください。ご依頼の際に、図面がすでにある場合は、お問い合わせフォームまたはFAXにてご送信ください。CADデータがある場合は、よりスムーズにやり取りができます。図面がない場合は、製品の写真と加工内容をお送りいただければ対応可能です。もしくは手書きのポンチ絵でも問題ございません。
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詳細ヒアリング
Zoomなどの各種オンラインでのお打ち合わせにも対応可能です。また、お打ち合わせで必ずお伺いする項目は下記の通りです。これらの情報も、お問い合わせ時にあわせてご連絡いただけましたら、最短でお見積りをお出しいたします。・ワーク材質・製品の使用用途・加工内容・条件・納期・現状の課題
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加工可否確認＋お見積り
加工・製造可否の確認は3日以内にいたします。お見積りも予定最短納期とあわせて迅速にご提出いたします。
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ご発注＋お取引条件の確認＋加工手配
メールまたはFAXにて、注文書（図面で代用可）をお送りください。お取引条件の確認後、加工手配をいたします。
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製造・検査
加工手配が行われた製品は、社内の生産システムに登録され、工程設計されます。生産システムは全工程をリアルタイムで監視しており、お客様の製品の状況を見失うことはありません。また当社では、様々な高精度測定器も兼ね備えており、高品質な部品加工の保証をいたします。ご要望があれば、検査測定表もお出しいたします。
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出荷・納品
このように納期にあわせて製作された高精度製品は、検査後に厳重に梱包いたします。当社では高純度の銅のような腐食に注意しなければいけない部品や、微小な傷も許されない高精度部品も多数取り扱っておりますので、お客様の製品にあわせて最適な梱包を行うようにしています。梱包された製品は、宅急便などお客様のご都合にあわせて、納期遵守にてお送りいたします。

よくある質問

φ10インチの大型バッキングプレートを製作できますか？

⇒ 製作可能です。Φ10インチ（25.4cm）程度の大型になると、寸法や平面平行度などの精度出しが難しくなりますが、当社には寸法公差±0.001を安定して実現する超高精度加工技術があるため、高精度に仕上げることが可能です。

バッキングプレートの水路の形状設計のポイントについて教えてください。

⇒ スパッタリングターゲットを適切に冷却するため、バッキングプレートの水路の形状設計は特に注意しなければなりません。過去、バッキングプレート内に流れる冷却水の水圧により蓋が変形してしまったという事例もございましたので、負荷がかからない設計にする必要があります。

バッキングプレートにはどんな材質を採用すればいいですか？

⇒ バッキングプレートの材質には、銅、特に純度の高いC1020（無酸素銅、ofc）が採用されるケースが多いです。その理由は、①柔らかく加工しやすい、②熱伝導性に優れておりスパッタリングターゲットを冷却しやすいという点にあります。

バッキングプレートの放熱性を高めるためにはどうすればいいですか？

⇒ バッキングプレートは、成膜プロセスにおいて、プラズマが集中し熱負荷が大きくなるスパッタリングターゲットを冷却する目的で使用されるプレートです。バッキングプレートの放熱性を向上させるためには、①冷却水が適切に流れるように水路設計を行う、②表面積を大きくするためブラスト処理などで表面を梨地状（凹凸）にするなどの方法があります。

運営会社

銅板加工.comを運営する株式会社アイジェクトは、国内外から注目を集める、銅加工のフロンティア企業として、主に理化学機器、医療機器、航空機器向けに様々な精密部品を製作してまいりました。アイジェクトでは、とにかく困っている人を助ける姿勢が社員全員に浸透しています。ただ「できない」というのは簡単です。しかし、それで終わらせないのが当社の神髄です。

社名	株式会社　アイジェクト
所在地	〒350-1202 埼玉県日高市駒寺野新田251-14 TEL：042-989-8941（代表） FAX：042-989-8952
創業	昭和45年4月
設立	平成11年9月
従業員数	16名
資本金	1,000万
代表者	代表取締役　戸口　儀隆
取引先銀行	三井住友銀行埼玉りそな銀行武蔵野銀行飯能信用金庫
業務内容	バッキングプレート、電子顕微鏡部品真空装置部品、半導体装置部品医療機器部品、実験装置機械加工一般、３Ｄモデル試作、治具（設計、製作）

私たちにお任せください！

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銅板加工.comが展開する商品・サービス

銅板加工.comでは、バッキングプレートや冷却プレート、ヒートシンクのような銅板加工を中心としつつ、真空環境で使用されるアルミ製高精度部品、板金溶接部品など、様々な業界に向けて多種多様な商品・サービスを展開しております。部品加工のお困りごとは、まずは銅板加工.comまで！

低温機器部品試作開発サービス

4K環境下でも使用可能な、クライオスタットや超電導関係の部品加工実績多数あり！Au99.99&UPメッキなどの純金メッキにも対応！
真空機器部品試作開発サービス

真空フランジ、真空チャンバー、クライオスタットなどの真空機器部品の製造実績が多数あり！放出の少ない高純度材の加工や、無電解ニッケルメッキ、金メッキにも対応！
高精度アルミ部品加工サービス

極低温、真空、航空宇宙業界で使用される高精度アルミ部品の製品実績多数あり！高純度部品の酸化・腐食防止対策を実現する、アルミ部品へのメッキに関する圧倒的な提案力！
特注ブスバー高精度加工サービス

C1020・C1100などの純銅ブスバー・バスバーの加工実績が多数ございます！特殊形状・複雑形状のブスバーの加工や量産にも対応！
特注バッキングプレート設計・製造

成膜装置向けバッキングプレートの加工実績が多数！図面段階から形状や加工方法についてご提案いたします！