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成膜装置向けバッキングプレート(真空ロウ付け有)

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成膜装置向けバッキングプレート(真空ロウ付け有)

こちらは、成膜装置に使用されるバッキングプレートです。材質は無酸素銅(C1020)で、サイズは116☓527☓65、フライス加工とマシニング加工の後に真空ロウ付け溶接が必要な製品でした。

真空ろう付け溶接のため、水圧でフタが変形してしまうとのことで技術者の方からご相談をいただきました。そこで当社から詳細ヒアリングを行い、現場での加工も踏まえた上で水路変更に関する技術提案を行ったところ、変更案を採用いただき、無事に高精度バッキングプレートの製作が実現できたため、高評価をいただくことができました。

当社は無酸素銅の加工に関するプロフェッショナル集団ですが、ただ銅の加工をするだけでなく、その後の溶接や表面処理も踏まえた上での最適な技術提案を行うことができます。この点を評価いただき、国内大手メーカーや研究開発機構の方々から多くご相談をいただいております。無酸素銅製のバッキングプレートの加工でお困りの方は、まずはご連絡ください。