成膜装置向け小型バッキングプレート

　

こちらは成膜装置向け小型バッキングプレートです。材質はC1020、サイズはφ85☓10と比較的小型製品でした。

小型バッキングプレートのため、板厚も薄くなり、反り・変形が出ないように加工を行う必要がありました。しかし公差範囲も非常に狭いため、加工難易度がとても高い部品でした。

当サイトを運営する株式会社アイジェクトでは、様々な無酸素銅製バッキングプレートの製造を行っております。2,300mmのバッキングプレートから、今回のような小型バッキングプレートまで、多種多様なバッキングプレートの製造に対応しております。バッキングプレートの製造にお困りの方は、まずはお気軽にお問い合わせください。