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C1020&SUS304 異種金属溶接バッキングプレート

C1020&SUS304 異種金属溶接バッキングプレート

名称 C1020&SUS304 異種金属溶接バッキングプレート
製品分類 バッキングプレート
材質 C1020+SUS304
加工方法 旋盤+マシニングセンター+溶接
業界 成膜装置
精度 ±0.1mm
サイズ φ381☓16

 

こちらは半導体装置のうち、成膜装置に使用される、C1020&SUS304製の異種金属溶接バッキングプレートです。全体のサイズはφ381☓16です。

拡大写真でご覧いただくとわかりやすいですが、無酸素銅(C1020)とステンレス(SUS304)の異種金属溶接により製作されたバッキングプレートです。異種金属の場合は、熱伝導率がそれぞれ異なるため、溶接結合させるのが困難となります。しかし当社では、特殊な加工方法で内面まで溶接結合させています。バッキングプレートの内部は、水路によるジャケット構造を取っております。

当社では、このような異種金属溶接が施されたバッキングプレートの実績も多数ございます。無酸素銅の加工も難易度は高くなりますが、その上でさらに溶接工程まで考慮した高精度加工をいたします。バッキングプレートのことでお困りの方は、まずは銅板加工.comまでご相談ください。