バッキングプレートの放熱性を高めるためにはどうすればいいですか？

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バッキングプレートの放熱性を高めるためにはどうすればいいですか？

⇒ バッキングプレートは、成膜プロセスにおいて、プラズマが集中し熱負荷が大きくなるスパッタリングターゲットを冷却する目的で使用されるプレートです。バッキングプレートの放熱性を向上させるためには、①冷却水が適切に流れるように水路設計を行う、②表面積を大きくするためブラスト処理などで表面を梨地状（凹凸）にするなどの方法があります。

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