「できない」で終わらせない。国内外から注目を集める、銅加工のフロンティア企業による専門サイト「銅板加工.com」

銅板加工.com

 アイジェクト株式会社

お問い合わせはこちら

オンライン工場見学

042-989-8941

(平日:8:30~17:30)

バッキングプレートの放熱性を高めるためにはどうすればいいですか?

> よくある質問 / 銅加工、処理について > バッキングプレートの放熱性を高めるためにはどうすればいいですか?

バッキングプレートの放熱性を高めるためにはどうすればいいですか?


⇒ バッキングプレートは、成膜プロセスにおいて、プラズマが集中し熱負荷が大きくなるスパッタリングターゲットを冷却する目的で使用されるプレートです。バッキングプレートの放熱性を向上させるためには、①冷却水が適切に流れるように水路設計を行う、②表面積を大きくするためブラスト処理などで表面を梨地状(凹凸)にするなどの方法があります。