バッキングプレートにはどんな材質が採用されますか？

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バッキングプレートにはどんな材質を採用すればいいですか？

⇒ バッキングプレートの材質には、銅、特に純度の高いC1020（無酸素銅、ofc）が採用されるケースが多いです。その理由は、①柔らかく加工しやすい、②熱伝導性に優れておりスパッタリングターゲットを冷却しやすいという点にあります。