バッキングプレートの水路の形状設計の注意点について教えてください。

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バッキングプレートの水路の形状設計のポイントについて教えてください。

⇒ スパッタリングターゲットを適切に冷却するため、バッキングプレートの水路の形状設計は特に注意しなければなりません。過去、バッキングプレート内に流れる冷却水の水圧により蓋が変形してしまったという事例もございましたので、負荷がかからない設計にする必要があります。