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| 名称 | C1020製 バッキングプレート |
| 製品分類 | バッキングプレート |
| 材質 | C1020 |
| 加工方法 | 旋盤+マシニングセンター |
| 業界 | 成膜装置 |
| 精度 | ±0.1mm |
| サイズ | φ226☓10 |
こちらは成膜装置向けバッキングプレートです。材質はC1020で、サイズはφ226☓10です。
無酸素銅製のバッキングプレートのため、熱伝導率の良さが反り・ひずみの発生につながってしまいます。そのため、シール面の仕上げが重要となりました。
当社では、このような無酸素銅製バッキングプレートの製作実績が多数ございます。過去に培ってきた無酸素銅の加工ノウハウをもとに加工いたしますので、高精度な無酸素銅製バッキングプレートの製作を実現することができます。無酸素銅製バッキングプレートのことでお困りの方は、まずは銅板加工.comまでお問い合わせください。