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「できない」で終わらせない。国内外から注目を集める、銅加工のフロンティア企業による専門サイト「銅板加工.com」
名称 | C1020製 半導体製造装置向けプレート |
製品分類 | プレート |
材質 | C1020 |
加工方法 | 旋盤、マシニング加工 |
業界 | 半導体装置 |
精度 | ±0.05mm |
サイズ | φ220☓20 |
こちらは、半導体装置で用いられるプレートです。材質は純銅(C1020)で、旋盤で全体形状を加工した後に、マシニング加工で細部の形状を加工いたしました。
こちらのプレートでは、最薄部の板厚が2tとなり、ひずみが生じやすい形状となっています。そのため、アニール処理後に加工を実施するように工夫いたしました。また写真のようにΦ7ボスが150箇所ある複雑形状のため、加工自体が困難な製品でした。そこで当社では、プログラムやクランプ方法を工夫することで、平坦度0.15以内での高精度なプレートの加工を実現することができました。
銅板加工.comを運営する株式会社アイジェクトでは、このような複雑形状のプレートや、板厚の薄い高精度プレートの加工にも対応しております。また、ただ製造するだけでなく、ご要望や製品の使用用途を詳細にお伺いした上で、最適な形状や加工方法のご提案をいたします。プレートの加工のことでお困りの方は、まずは銅板加工.comまでお問い合わせください。